长春光机所先进制造与检测公共技术中心-凯发网

原子力扫描显微镜 multimode 8

技术指标

1， 纵向分辨率0.1nm

2， 扫描区域50 um x 50 um

测试功能

1，tapping , contact 模式，表面粗糙度

2，机械力学测试模块（磨擦阻尼）

3，电学测试模块（扩散电阻，扩散电容）

4，磁学测试模块

5，纳米压痕

6，隧道电流

测试对象

外延薄膜，抛光固态块体，