技术指标
1, x光管 2.2kw
2, chi园:-5~90,马达驱动,最小步长≤0.002o
3, phi园:360度,马达驱动,最小步长≤0.002o
4, x、y、z轴平移,马达驱动,最小步长≤0.002mm, x,y调节范围≥ 5cm.
5, 面内掠入射(ip-gid)附件,光管可旋转,使线聚焦方向与样品表面平行,以提高信号强度及掠射角精度。
6, 一次光路多层膜反射镜及单色器,适合gid,xrr及hrxrd分析
7, 二次光路分析晶体
8, 高分辨单色器的分辨率 <15″
9, 倒易空间mapping模块
10, 探测器:闪烁计数器
动态范围 >2×106cps
背底噪音 <0.5cps
测试功能
精细结构分析
面内晶格常数
单晶掺杂
应力分析
外延生长质量确定
测试对象
外延单晶薄膜
负责人:赵海峰