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薄膜x射线衍射仪(advance )
2013-03-22
【】


技术指标

1, x光管 2.2kw

2, chi园:-5~90,马达驱动,最小步长≤0.002o

3, phi园:360度,马达驱动,最小步长≤0.002o

4, x、y、z轴平移,马达驱动,最小步长≤0.002mm, x,y调节范围≥ 5cm.

5, 面内掠入射(ip-gid)附件,光管可旋转,使线聚焦方向与样品表面平行,以提高信号强度及掠射角精度。

6, 一次光路多层膜反射镜及单色器,适合gid,xrr及hrxrd分析

7, 二次光路分析晶体

8, 高分辨单色器的分辨率 <15″

9, 倒易空间mapping模块

10,   探测器:闪烁计数器

动态范围 >2×106cps

背底噪音 <0.5cps

测试功能

精细结构分析

面内晶格常数

单晶掺杂

应力分析

外延生长质量确定

测试对象

外延单晶薄膜

负责人:赵海峰
联系电话:0431-86176324
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